| 产品特性：氧化扩散 | 是否进口：否 | 产地：青岛 |
| 加工定制：是 | 品牌：晨立 | 型号：CL |
| 功率：24W | 最大电压：380V | 额定温度：1280℃ |
| 主要用途：扩散、氧化、退火、合金等工艺 | 产品认证：中国半导体 |
外型形式：
卧式3管结构扩散炉主要满足半导体电力电子器件行业、大功率集成电路等行业，对所
加工硅片进行扩散、氧化、退火、合金等工艺。主要由扩散炉加热炉体、气源系统、控制系统、超
净化操作系统等组成。选用工控机微控方式或者程控方式操作。
技术指标：
可处理硅片尺寸：2—8英寸
工作温度：200℃—1300℃
恒温区长度及精度：200mm—100mm≤±0.5℃
单点温度稳定性、重复性：≤±1.5℃／24h
温度斜变：可控升温速率20℃／min，
可控降温速率：5℃／min
送片装置：全自动悬臂推拉舟、拉杆是推拉舟、手动推拉
气路系统：1—5路工艺气体／管
气体控制：全自动MFC、手动浮子流量计
控制方式：工控机、触摸屏
青岛晨立电子有限公司可根据客户需求个性化专业定制管式扩散炉、隧道炉、焊接炉、烧结炉、管式退火
炉，管式真空退火炉、管式烧结炉、管式合金炉等高温电炉，厂家直接供货，质优价廉，欢迎广大用户来
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