| 产品特性：扩散氧化 | 是否进口：否 | 产地：青岛 |
| 加工定制：是 | 品牌：晨立 | 型号：CL |
| 功率：24W | 最大电压：380V | 额定温度：1270℃ |
| 主要用途：用于大规模集成电路、太阳能电池片、电力电子、光 电器件、光导纤维等行业的氧化、扩散、烧结、合金 | 产品认证：中国半导体 |
设备用途：用于大规模集成电路、太阳能电池片、电力电子、光 电器件、光导纤维等行业的氧化、扩散、烧结、合金等工艺。
设备特点：单元组合方式。根据工艺的不同，可以在主机的基础上配气源柜、超净工作台、悬臂推拉舟等。
主要技术指标：
炉管数： 1～4管
配工艺管口径：Φ90～360 mm (3～12英寸)
恒温区长度： 760～1000 mm±1.0℃ (300～800℃)
760～1000 mm±0.5℃(800～1280℃)
单点稳定性： ±1.0℃/24h (300～800℃)
±0.5℃/24h (800～1280℃)
气源路数： ≤7路，可配恒温源瓶、氢氧合成点火器
气体控制： 浮子/质量流量计
悬臂舟参数： 速度： 20～1000 mm/min
行程：2000 mm
定位精度：±1 mm
载荷：17 Kg
超净工作台： 净化等级：100级（万级厂房）
噪音： ≤62dB（A）
振动： ≤3μm
青岛晨立电子有限公司可根据客户工艺的需求定制各种：扩散炉、实验专用电炉、IGBT焊接炉、真空焊接炉、实验室焊接炉、真空炉、退火炉、合金炉、交换炉、升华炉、氧化炉、气氛炉、氢气炉、CVD炉、隧道炉等各种工业、实验室专用热处理设备，欢迎广大客户来电来函。
